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光刻機

2015/2/1 14:39:36
產(chǎn)品說(shuō)明

 

光刻機

光刻線(xiàn)條特征尺寸:
  應用實(shí)例1:深紫外光源下0.25um線(xiàn)條
  Scanning Electron Micrographs 電子顯微鏡圖像
  Feature Sizes圖像尺寸0.25微米線(xiàn)條
  采用TOK DUV 光刻膠,200nm光學(xué)鏡,光刻膠厚度0.45微米。曝光時(shí)間40秒。

 

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